上海千实精密机电有限公司解读电子探针显微分析仪的分析和扫描方法

　　

标准集团(香港)有限公司创立于2003年，总部在中国香港，研发生产销售纺织类、汽车内外饰类、皮革鞋材类、口罩防护服类等材料测试仪器，在上海设有分公司上海泛标纺织品检测技术有限公司，全面负责中国大陆地区的销售和售后服务，上海千实精密机电科技有限公司是其生产厂家，负责测试仪器的加工生产。

　　

公司起步于纺织领域的开发，秉持专业、真诚、热情、高效的服务理念，全面贴近客户需求，获得客户高度认可。一直以来，我们始终坚持提供适用产品，依赖专业高效的服务团队，整合技术和资源优势，为客户解决科研生产中遇到问题提供支持，从而带动国内科研及相关行业水平的提高。通过个性化的售前产品咨询，高效率的售后安装、维护和维修，标准集团正越来越多赢得市场和客户的信赖。

　　

工厂使命：

　　

上海千实致力于创新高质量的测试仪器，我们的任务是藉由团队的合作、细腻的创新、实际的效能与好的服务，将完整的实验室解决方案交给我们的客户及经销伙伴。

　　

公司价值观：

　　

1.客户至上

　　

上海千实在乎您的需求，获得您的信赖是我们永远的目标。专注于实现每个客户的需求，无论是客户定制产品、技术支持或其他相关服务，我们都全心全意完成您的期盼。

　　

2.创新思想

　　

上海千实坚持运用实验室技术，并累积每个使用者及员工的实际经验，不断突破创新，为所有顾客创造好的测试设备产品。

　　

3.技术水平

　　

上海千实拥有好的研发团队、产品管理专家以及杰出的服务人员，我们结合了各项实验经验与多方客户反馈，确保千实提供给您质量的产品及服务。

　　

4.人性化仪器

　　

上海千实提供操作简单、便利的测试仪器，拥有符合用户体验性的贴心设计，如触控面板及小型按键板，让客户方便、轻松的使用与操作。

　　

5.质量政策

　　

上海千实力图满足顾客所期望的标准，达到更高的境界，我们承诺会藉由各项研究及开发不断提升我们的服务质量，同时也接受每个迎面而来的挑战。

　　电子探针显微分析仪是目前较为理想的一种微区化学成分分析手段。根据高能电子与固体物质相互作用的原理，利用电子枪发射的高能量电子流通过磁透镜聚焦成直径约0.1一llcm的电子束(电子探针)轰击样品表面，使样品中被打击的微小区域(简称微区)内所含元素的原子激发而产生特征x射线谱。由于不同元素的原子结构各异，激发产生的X射线波长亦不相同。由电子光源、试样台、光学显微镜、x射线谱仪、电子分析部件和真空系统组成。测量各种元素所产生的x射线的波长和强度，来对微小体积中所含元素进行定性和定量分析。可用于测定高分子材料中元素和杂质的浓度及其分布、添加的成分等。

　　电子探针显微分析仪的结构及分类：
　　波谱仪：利用特征X射线的波长不同来展谱，实现对不同波长X射线分别检测的波长色散谱仪，简称波谱仪（wavelengthdispersivespectrometer,WDS）。
　　能谱仪：利用特征X射线的能量不同来展谱，实现对不同能量X射线分别检测的能量色散谱仪，简称能谱仪（energydispersivespectrometer,EDS）。
　　（1）波谱仪
　　波谱仪主要由分光晶体、X射线探测器和数据处理系统组成；波谱仪的工作原理是：根据布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经过一定晶面间距d的晶体分光，波长λ不同的特征X射线将有不同的衍射角θ。通过连续地改变θ，就可以在与X射线入射方向呈2θ的位置上测到不同波长λ的特征X射线信号。
　　（2）能谱仪
　　能谱仪主要由X射线探测器、前置放大器、脉冲信号处理单元、模数转换器、多道分析器、小型计算机、显示记录系统等组成，能谱仪的关键部件是锂漂移硅半导体探测器，习惯上记作Si（Li）探测器。能谱仪的工作原理是以电荷脉冲高度为依据将每个脉冲分类，归入具有不同能量跨度的“道”，以“道”即能量为横坐标，以进入该“道”的电荷脉冲数为纵坐标，得到样品的能谱图。
　　3、波普仪与能谱仪的主要性能比较
　　4、电子探针显微分析的两种方法
　　电子探针分析有两种基本分析方法：

　　（1）定性分析
　　定性分析是对试样某一选定点（区域）进行定性成分分析，以确定点区域内存在的元素。
　　定性分析的原理：用光学显微镜或在荧光屏显示的图像上选定需要分析的点，使聚焦电子束照射在该点上，激发该点试样元素的特征X射线。用X射线谱仪探测并显示X射线谱，根据谱线峰值位置波长（或能量）确定分析点（区域）试样中存在的元素。
　　X射线的对应的能量可以表示为：E=hv，式中：E为X射线的能量；h为普朗克常数。可以看出X射线的能量与频率存在一一对应的关系，这是能谱仪定性分析的基本原理。
　　（2）定量分析
　　稳定电子束照射下，X射线谱扣除背景计数后，各元素同类特征谱线（常用Kα线）的强度值应与它们浓度相对应。
　　粗略近似，背景校正后的强度测量值I与其浓度C成正比
　　Ia：Ib…：Ii：…Ij＝Ca：Cb…：Ci…Cj；元素I的浓度Ci可由强度I的归一化加以计算：
　　5、电子探针显微分析的两种扫描方式
　　电子探针分析有两种扫描方式：

　　（1）线扫面分析
　　使聚焦电子束在试样观察区内沿一选定直线（穿越粒子或界面）进行慢扫描。X射线谱仪处于探测某已知元素特征X射线状态，得出反映该元素含量变化的特征X射线强度沿试样扫描线的分布。
　　X射线谱仪处于探测未知元素状态，得出沿扫描线的元素分布图，即该线上包含有哪些元素。
　　（2）面扫描分析
　　聚焦电子束作二维光栅扫描；X射线谱仪处于探测某一元素特征X射线状态，得到由许多亮点组成的图像，即X射线扫描像或元素面分布图像。
　　元素含量多，亮点密集。根据图像上亮点的疏密和分布，确定该元素在试样中分布：亮区代表元素含量高，灰区代表含量低，黑区代表含量很低或不存在。